原位SEM樣品臺每一個設計作品都舉世無雙

當前位置: 主頁 > 產品 > 原位SEM樣品臺

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統

日期:2022-05-20

PicoFemto SFP3 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活

多樣,可在三維納米位移臺的驅動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優于100 nm,以使待測量區域準確對準力探針。力探針同樣由壓電驅動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優于

0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、

光學、加熱等模塊,該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

掃描電鏡納米力測量系統1.png


PicoFemto SFP3 SEM納米力測量系統基本技術參數表


技術指

兼容性

兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號掃描電子顯微鏡

最大載荷

±10 ~±50 mN可選

載荷分辨率

優于10 mN

加載模式

拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等

納米壓痕模式

加載-保載-卸載,以及循環加載模式

軟件

自動測量載荷-位移曲線,自動保存;

樣品位移反饋

閉環

響應時間

50ms

加載位移精度

0.25 mm

XYZ反饋

開環

XYZ粗調范圍

大于5 mm

XYZ細調范圍

2.5 mm

XYZ細調分辨率

0.6 nm

XYZ位移操作模式

手柄操作(可改為軟件)。

電流測量量程

±1.5 A

電流測量精度

±100 fA

電壓測量量程

±200V

電壓測量精度

±100 nV

電學測量模式

自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t

測量,自動保存。

加熱范圍

室溫至500

加熱穩定性

優于1

其他

可選光學模塊


   以上就是澤攸科技對PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統的介紹,關于價格請咨詢18817557412(微信同號)

掃描電鏡納米力臺


TAG:
掃描電鏡納米力臺 SEM納米臺 納米壓痕儀

作者:澤攸科技


在线a中文字幕_欧美黄色片_亚洲欧洲免费三级网站_欧美综合区自拍亚洲综合绿色